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管式高溫擴散爐

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產品型號BY.90-DS－300A

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更新時間：2016-03-22 13:35:49瀏覽次數：426次

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北京市卓川電子科技有限公司

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產品簡介

精心設計制造的軟著陸裝置，結合了設備商應用的優勢，運行穩定可靠，SiC槳實現免清洗。沒有槳的遮擋，工藝效果更有保障管式高溫擴散爐

詳細介紹

管式高溫擴散爐高溫擴散爐擴散爐
型號	BY.90-DS－300A

簡介	詳細描述：工藝舟軟著陸精心設計制造的軟著陸裝置，結合了設備商應用的優勢，運行穩定可靠，SiC槳實現免清洗。沒有槳的遮擋，工藝效果更有保障串級溫度控制系統國內的串級溫度控制方法，實現5段自動適時恒溫區，確保工藝片分分秒秒處于真正的恒溫區，同時爐管內工藝反應區域爐溫能自動快速響應與恢復，zui大限度地保障工藝片需要的準確溫度，可有效地提高工藝片的均勻性。閉管擴散* 工藝片在石英管內實現真正意義上的閉管擴散。全數字化控制系統觸控平板工業計算機控制系統，功能齊全，數字化管理各控制部件，遠離干擾，性能更加穩定可靠。數字式MFC精確控制氣體流量數字式MFC的運用，消除了模擬變量傳輸的干擾，非常有益于工藝生產的重復穩定控制，通過配合串級溫度控制，可地提高工藝批次間的品質。隔熱和密封的爐門系統* 良好的隔熱設計減少了熱量的損失并減少了溫度恢復時間，保證裝載區無污染，使操作人員遠離偏磷酸的危害防污染的尾部廢氣處理系統 POCl₃ 殘留物冷凝在石英管容器中，便于安全地處理。減少了90%以上的有毒氣體，增加了操作人員的安全性。緊湊的造型設計單臺四管（三管可選），造型緊湊，*地利用了潔凈廠房的空間，減少占地面積。