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四川英杰電氣股份有限公司
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RPJ 系列射頻電源依靠成熟的射頻發生技術為基礎，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控等功能。適用領域：光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。
● 半磚和機架式安裝方式
● 采用全數字控制，具有便捷和豐富的操作菜單
● 脈沖和脈沖同步功能
● 具備CEX相位同步功能
● 完善保護功能
| 輸入 | 輸入電壓：3ΦAC208V±10%, 3ΦAC380V±5%, 47~63Hz |
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| 輸出 | 輸出頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | 輸出功率：1.5kW~6kW |
| 輸出功率調節范圍：1%~99% | 輸出阻抗：50Ω+j0 | |
| 輸出接口：N型 | 輸出模式：連續、脈沖 | |
| 脈沖頻率：100Hz~20kHz | 占空比：5%~95% | |
| 性能指標 | 功率因數：0.98 | 頻率穩定精度：±0.005% |
| 效率：75%（額定輸出時） | 諧波：<-45dBc | |
| 雜散：<-50dBc |
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| 控制特性 | 外部控制接口 模擬量、通訊、同步 | 通信方式 標準配置RS485通訊接口、可擴展Ether CAT、工業以太網等 |
| 注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。 | ||
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