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3D光學輪廓儀器

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產品型號SuperViewW1

品牌

廠商性質其他

所在地深圳市

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更新時間：2024-06-24 18:42:12瀏覽次數：155次

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產品簡介

中圖儀器SuperViewW13D光學輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

詳細介紹

光學表面3d輪廓儀由光學照明系統(tǒng)、光學成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應用軟件構成。其中信號處理系統(tǒng)作為儀器核心部分，由計算機和數字信號協(xié)處理器構成。重建算法能自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。

中圖儀器SuperViewW13D光學輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

光學3D表面輪廓測量儀.jpg

主要應用領域：

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。

SuperViewW13D光學輪廓儀器的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計，既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝樱瑫r內部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。