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日本HORIBA STEC-Z700X壓力式氣體質(zhì)量流量控制器

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概要SEC-Z700系列和CRITERIOND200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩(wěn)定的流量控制

詳細(xì)介紹

概要
SEC-Z700系列和CRITERION D200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩(wěn)定的流量控制。標(biāo)準(zhǔn)的氣路系統(tǒng)會(huì)有調(diào)壓閥，壓力傳感器和過(guò)濾器來(lái)避免壓力影響對(duì)流量控制的干擾。新型號(hào)的質(zhì)量流量控制器，如SEC-Z700系列和CRITERION D200系列，可以不受上流和下流壓力的影響，提供高穩(wěn)定性的流量控制。不僅可以提供流量輸出，還可以讀取溫度和壓力數(shù)據(jù)。可以通過(guò)模擬信號(hào)控制，也可以通過(guò)RS-485和DeviceNet的數(shù)字通信控制。這種型號(hào)適合用于高性能，緊湊型和減少管路重量的氣路系統(tǒng)。
特征
•復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
•可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時(shí)間（在一秒以內(nèi)）
•緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥，壓力傳感器和過(guò)濾器
•穩(wěn)定氣體流量控制，不受上流和下流壓力的影響
•集成進(jìn)氣端壓力傳感器
•自身多種顯示
•精度保證1%設(shè)定流量
•超潔凈設(shè)計(jì)：金屬密封圈，所有都是SUS-316L不銹鋼，并且經(jīng)過(guò)表面拋光（標(biāo)準(zhǔn)）
•緊湊型尺寸-50SLM以內(nèi)采用一樣的尺寸
•信號(hào)兼容-模擬/RS485數(shù)字模式，DeviceNet模式
•網(wǎng)絡(luò)功能-通過(guò)數(shù)字信號(hào)控制