3BSE078882R3 ABB

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CITECT監控系統中，由于使用了全鼠標操作，所有數據和狀態只在畫面上顯示，使原來在機械式按鈕和按鍵上進行的檢修掛牌無法實現，造成了安全隱患。因而系統設計了軟件化檢修掛牌功能，設備只有在生產人員的正確密碼輸入后才能進行生產檢修掛牌和摘牌，系統不僅能夠及時顯示當前的設備檢修狀態，還禁止了設備在掛牌檢修狀態下的啟動操作，*保證了監控操作的安全性。所有的掛摘牌操作也作為操作記錄內容的一部分被記錄下來，因而在這一監控系統中，設備的檢修過程這一管理信息也進入了過程控制系統。 

AMAT 0040-18080

AMAT 0040-09005

AMAT 0020-09029

Watkins Johnson, WJ, 906182-001

Nanotec N5-2-2

Watkins Johnson, WJ, 906182-001

AMAT 0020-22920

ENI MW-10-21191

Varian 106233001

AMAT 0020-09368

Anelva VMT-5525

Precision Tube Systems, PTS, 31008-02

Process Tube Systems, PTS, 22027-00

Unit Instruments URS-100-WE

Tel, Tokyo Electron, TS3210-201270-1?1

Nanotec N5-2-2

Nanotec GPLE60-35-320

AMAT 3760-01103, Slide KR Type 46

Eaton 17064260 

  GE Motor 5KE49WN8226

Watkins Johnson, WJ, 906182-001

Novellus 60-00177-00

LAM 853-170184-100

Oriental Motor UDX5107-G4-2

Oriental Motor FBLD120C

AMAT 0020-09091

Swagelok SS-8BHT-24

AMAT 0020-10740

AMAT 0020-31035

Galil DMC-1540

Varian E17048720

LAM 714-025052-104

AMAT 0020-28463

Flange, Vacuum ISO, Pipe, 12 Inch, 5 Inch, 419743