康冠光電鈮酸鋰電光調(diào)制器實驗室流片工藝
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隨著光纖通信技術的發(fā)展，人與人之間的交流的方式，人類的生活習慣發(fā)生著翻天覆地的變化，世界各地的距離也變得越來越小。這其中多半的功勞在于光電器件的發(fā)展，激光作為光纖通信的信息載體，光纖作為光信息的傳輸介質，而電光調(diào)制器實現(xiàn)了將信號加載到激光的功能，更是光電器件中最基礎和最重要的。鈮酸鋰電光調(diào)制器具有頻帶寬、穩(wěn)定性好、電光系數(shù)高、工藝成熟等優(yōu)點，因此成為當下主流產(chǎn)品。
康冠光電是專業(yè)的光通信設備生產(chǎn)商，專業(yè)生產(chǎn)鈮酸鋰(LiNbO3)電光調(diào)制器，其產(chǎn)品線非常豐富，包括強度調(diào)制器和相位調(diào)制器及其配套驅動和偏壓控制，電光帶寬從低頻到50Gbps/50GHz高速調(diào)制器均可提供，工作波長涵蓋780nm-2000nm，并且可以接受產(chǎn)品定制！這么強大的鈮酸鋰電光調(diào)制器是怎么制作的呢？下面就介紹一下康冠光電鈮酸鋰電光調(diào)制實驗室流片制作工藝吧！
鈮酸鋰電光調(diào)制實驗室流片工藝
01 LNOI波導制備工藝流程
02 鉻膜磁控濺射-目前可以穩(wěn)定實現(xiàn)適當厚鉻膜制備
03 光刻
04 復雜彎曲結構波導制作
05 腐蝕工藝效果
06 優(yōu)化刻蝕參數(shù)
07 波導刻蝕優(yōu)化
08 制備的復雜彎曲波導
目前基于康冠光電實驗室平臺已可以實現(xiàn)LNOI光波導的濺射、光刻、腐蝕、刻蝕、拋光、測試等一系列必要工藝。該研究有望為中國光通信產(chǎn)業(yè)鏈的蓬勃發(fā)展和持續(xù)升級貢獻一份力量。
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